クリーンルーム構造・しくみ

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クリーンルーム構造・しくみ2018-06-21T23:30:39+00:00

簡易クリーン空間の仕組み

クリーン度とは…1ft³(約 33㎝ 角)の空間に0.5ミクロン以下のホコリが何個以下なのかで決まります。

外気を ※FFU を通してブース内へ取り込みます。このクリーンエアーが、内部のホコリを下部開口部から外へ押し出すことで、ブース内がクリーン化されます。これを繰り返すことで、内部の清浄度が上がります。

簡易クリーン空間でもクラス100レベルが出せる仕組み

クラス100は建屋そのものをクリーン施設にしなければ実現できないクリーン度